原標(biāo)題：填補(bǔ)青島半導(dǎo)體核心裝備領(lǐng)域空白

來源：青島日報

原標(biāo)題：填補(bǔ)青島半導(dǎo)體核心裝備領(lǐng)域空白

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□青島日報/觀海新聞記者 王凱

本報6月27日訊 27日，青島思銳智能半導(dǎo)體先進(jìn)裝備研發(fā)制造中心在青島自貿(mào)片區(qū)落成投產(chǎn)。該中心的投產(chǎn)，填補(bǔ)了青島在半導(dǎo)體核心裝備領(lǐng)域的空白，標(biāo)志著青島在半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)自主創(chuàng)新和高端裝備制造領(lǐng)域邁出重要一步。

青島思銳智能半導(dǎo)體先進(jìn)裝備研發(fā)制造中心是2024年度和2025年度的山東省重大項目及青島市重點項目，由思銳智能與青島城投集團(tuán)聯(lián)合打造。項目總占地約95畝，總建筑面積達(dá)8.6萬平方米，計劃投資超12億元，聚焦原子層沉積鍍膜（ALD）和離子注入機(jī)（IMP）兩大核心半導(dǎo)體前道設(shè)備的研發(fā)與量產(chǎn)。

青島思銳智能科技股份有限公司由中國中車集團(tuán)及旗下基金通過深度“產(chǎn)融結(jié)合”的方式聯(lián)合發(fā)起設(shè)立，注冊資本11億元。公司主要聚焦關(guān)鍵半導(dǎo)體前道工藝設(shè)備的研發(fā)、生產(chǎn)和銷售，解決集成電路裝備“卡脖子”問題，提供具有自主可控核心關(guān)鍵技術(shù)的系統(tǒng)裝備產(chǎn)品和技術(shù)服務(wù)方案。其主要業(yè)務(wù)包括原子層沉積設(shè)備及離子注入設(shè)備，廣泛應(yīng)用于集成電路以及以功率與化合物為代表的第三代半導(dǎo)體、新能源、光學(xué)、生物醫(yī)學(xué)等諸多高精尖領(lǐng)域，是目前國內(nèi)唯一一家同時提供離子注入機(jī)和原子層沉積設(shè)備并實現(xiàn)關(guān)鍵技術(shù)自主突破的高科技企業(yè)。目前，思銳智能及其子公司BENEQ在全球擁有480余項專利，是中國國內(nèi)極少擁有全球客戶拓展能力的中高端半導(dǎo)體裝備生產(chǎn)制造商，業(yè)務(wù)范圍覆蓋全球40個國家及地區(qū)，累計超過500個全球客戶。

該項目從建設(shè)到投產(chǎn)僅用一年時間，進(jìn)一步增強(qiáng)了青島自貿(mào)片區(qū)在半導(dǎo)體高端裝備領(lǐng)域的競爭力，完善了青島市集成電路產(chǎn)業(yè)鏈布局，對產(chǎn)業(yè)升級具有重要的示范引領(lǐng)作用。青島思銳智能科技股份有限公司董事長聶翔表示，思銳智能半導(dǎo)體先進(jìn)裝備研發(fā)制造中心不僅是一座年產(chǎn)百臺設(shè)備的生產(chǎn)基地，更是構(gòu)建“技術(shù)-制造-生態(tài)”閉環(huán)的關(guān)鍵節(jié)點。公司將依托該中心加速突破ALD、IMP等關(guān)鍵技術(shù)瓶頸，深化在集成電路、功率化合物等領(lǐng)域的布局。同時，思銳智能將持續(xù)加大研發(fā)投入，深化與政府、高校及海外機(jī)構(gòu)的合作，打造全球領(lǐng)先的研發(fā)驗證平臺和人才聚集區(qū)，助力中國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈自主可控。

據(jù)了解，青島市集成電路產(chǎn)業(yè)園自2022年11月揭牌成立以來，緊緊圍繞高端化、智能化、綠色化、集群化發(fā)展方向，堅持以科技創(chuàng)新為引領(lǐng)，培育發(fā)展新質(zhì)生產(chǎn)力，集成電路產(chǎn)業(yè)規(guī)模持續(xù)壯大、產(chǎn)值穩(wěn)步提升。截至目前，產(chǎn)業(yè)園已累計集聚產(chǎn)業(yè)鏈上下游項目46個，總投資約1803億元，涵蓋設(shè)計、制造、封測、材料、設(shè)備等全產(chǎn)業(yè)領(lǐng)域，入圍“中國集成電路園區(qū)綜合實力TOP30”榜單第17位，帶動青島市躋身全球集成電路產(chǎn)業(yè)綜合競爭力百強(qiáng)城市第81位，展現(xiàn)出強(qiáng)勁發(fā)展?jié)摿Α?/p>

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